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中凈環(huán)球凈化可提供潔凈車(chē)間、GMP車(chē)間、無(wú)菌車(chē)間的咨詢(xún)、規(guī)劃、設(shè)計(jì)、施工、安裝、改造等配套服務(wù),技術(shù)專(zhuān)業(yè)、經(jīng)驗(yàn)豐富、價(jià)格實(shí)惠。
為了合理選擇壓力貯罐的幾何容積,應(yīng)考慮如下因素:增高充氣壓力,可減少單位貯氣量的建設(shè)投資,但壓縮氣體所需的電費(fèi)要增加;若貯罐主要用于較長(zhǎng)期的貯備容量,可盡可能地提高充氣壓力,減少幾何容積;在供氣系統(tǒng)和用氣設(shè)備允許的情況下,應(yīng)盡可能地降低排氣壓力,減少貯罐的幾何容積。在干管或支管的末端均應(yīng)設(shè)有吹除管線(xiàn)及控制閥;對(duì)于特種氣體的供應(yīng)系統(tǒng)常常在儲(chǔ)氣瓶與用氣設(shè)備之間設(shè)有吹掃控制裝置、多閥門(mén)控制裝置,用以控制各個(gè)閥門(mén)的開(kāi)關(guān)順序、系統(tǒng)吹除,以確保供氣系統(tǒng)的安全、可靠運(yùn)行和防止“死區(qū)”形成而滯留污染物,降低氣體純度。對(duì)高純氣體純度要求不同的用氣設(shè)備,宜采用分等級(jí)高純氣體輸送系統(tǒng);也可采用同等級(jí)輸送系統(tǒng),但在純度要求高的用氣設(shè)備鄰近處設(shè)末端氣體純化裝置,提純到符合供氣質(zhì)量要求。
為了檢測(cè)高純氣體的純度和雜質(zhì)含量,輸送系統(tǒng)除了設(shè)置必要的連續(xù)檢測(cè)儀器,如痕量水含量或痕量氧雜質(zhì)含量等分析儀外,還應(yīng)設(shè)置定期取樣用的檢測(cè)采樣口,以便按規(guī)定時(shí)間進(jìn)行采樣,分析高純氣體中各種雜質(zhì)的含量。高純氣體系統(tǒng)的配管材料應(yīng)選用不銹鋼316L電拋光(EP)管材;管道連接應(yīng)采用環(huán)形對(duì)接焊或表面密封接頭;閥門(mén)應(yīng)采用隔膜閥、波紋管閥等。
高純氣體管路的材質(zhì)、內(nèi)表面處理和閥門(mén)等附件的選用應(yīng)根據(jù)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝對(duì)氣體純度、允許的雜質(zhì)含量、微粒含量等的要求不同,采用相應(yīng)質(zhì)量的高純氣輸送配管。采用不同材質(zhì)或內(nèi)表面處理方法不同的管路及附件,其使用效果相差甚遠(yuǎn)。材料的滲透性、吸附性和材料中的不純物含量以及內(nèi)表面粗糙度等的不同,均會(huì)影響高純氣體在輸送管路中的輸送質(zhì)量,即使高純氣體在輸送系統(tǒng)的始端已經(jīng)達(dá)到規(guī)定的雜質(zhì)含量、塵粒含量,若輸送管路的材質(zhì)和閥門(mén)選擇不當(dāng)或內(nèi)表面處理方法不當(dāng),都將使輸送管路的末端得不到符合要求的高純氣體質(zhì)量;因?yàn)樵谳斔瓦^(guò)程中高純氣體收到粒子的滲透或雜質(zhì)組分的滲漏或被吸附在內(nèi)壁的粒子、雜質(zhì)的釋放或外部水分的污染,使高純氣體中的雜質(zhì)含量、塵粒含量超過(guò)規(guī)定的標(biāo)準(zhǔn)而不能使用或引起產(chǎn)品成品率的降低。高純氣體輸送配管的材質(zhì)、內(nèi)表面處理和閥門(mén)等附件至關(guān)重要。
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