證券時報e公司訊,泰晶科技消息,公司最新研制的用于光刻工程的高精度配套設(shè)備—全自動晶圓調(diào)頻及測選機,近日又取得新突破,該設(shè)備適用于光刻晶圓頻率調(diào)整及分測,配合基于半導(dǎo)體技術(shù)的光刻制程量產(chǎn)及質(zhì)量提升。這一設(shè)備的研制成功,不僅填補了行業(yè)空白,而且保證了關(guān)鍵性技術(shù)的保密性,為公司正在進(jìn)行的大規(guī)模擴產(chǎn)提供了更優(yōu)的方案。
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