證券時(shí)報(bào)e公司訊,上海臨港新片區(qū)3日發(fā)布集成電路產(chǎn)業(yè)專項(xiàng)規(guī)劃(2021-2025),提出推動(dòng)集成電路裝備產(chǎn)業(yè)規(guī)?;l(fā)展,重點(diǎn)支持12英寸高端刻蝕、清洗、離子注入、光刻、薄膜、濕法、熱處理及光學(xué)量測等設(shè)備研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化。據(jù)預(yù)測,全球領(lǐng)先的代工廠有望在2021年至2023年進(jìn)行大規(guī)模的半導(dǎo)體設(shè)備資本投資。隨著國內(nèi)晶圓廠建設(shè)高潮來臨,我國半導(dǎo)體材料市場將爆發(fā)。至純科技是國內(nèi)半導(dǎo)體清洗設(shè)備龍頭;北方華創(chuàng)產(chǎn)品涉及ICP刻蝕等。(上證資訊)


























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