北方華創(chuàng)發(fā)布國產12英寸雙大馬士革CCP刻蝕機
2024-03-15
7310近日，北方華創(chuàng)正式發(fā)布新品——12英寸電容耦合等離子體介質刻蝕機Accura LX，該機臺主要覆蓋邏輯領域多個技術節(jié)點中以AIO (雙大馬士革刻蝕工藝)、Contact (接觸孔)為代表的關鍵介質刻蝕制程，并可擴展到存儲領域的CMOS (互補金屬氧化物半導體)相關制程，適用于Low-K（低介電常數(shù)）介質及常規(guī)介質材料的刻蝕工藝。
有色板塊快速拉升，截至發(fā)稿，怡球資源、格林美漲停，浩通科技、電工合金、鑫科材料、國城礦業(yè)、北方銅業(yè)等漲幅居前。
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