半導體氣敏傳感器是利用半導體氣敏元件同氣體接觸后,造成半導體性質的變化來檢測特定氣體的成分或者測量其濃度。
半導體氣敏傳感器大體上可以分為電阻式和非電阻式兩類。電阻式半導體氣敏倍感器是利用氣敏半導體材料,如氧化錫(SnO2)、氧化錳(MnO2)等金用氧化物制成敏感元件,當它們吸收了可燃氣體的煙霧,如氫、一氧化碳、烷、醚、醉、苯以及天然氣等時,會發(fā)生還原反應,放出熱量,使元件溫度相應增高,電阻發(fā)生變化。利用半導體材料的這種待性,將氣體的成分和濃度變換成電信號,進行監(jiān)測和報警。
圖4.42所示為典型氣敏元件的阻值—濃度關系??梢钥闯觯Σ煌瑲怏w的敏感程度不同,如對乙酸、乙酵、氫氣等具有較高的靈敏度,而對甲烷的靈敏度較低。一般地,隨著氣體的濃度增加.元件阻值明顯增大,在一 定范圍內,呈線性關系。